Saat ini, DB-FIB (Dual Beam Focused Ion Beam) banyak diaplikasikan dalam penelitian dan inspeksi produk di berbagai bidang seperti:
Bahan keramik,Polimer,Bahan logam,Studi biologi,Semikonduktor,Geologi
Bahan semikonduktor, bahan molekul kecil organik, bahan polimer, bahan hibrida organik/anorganik, bahan non-logam anorganik
Dengan kemajuan pesat elektronik semikonduktor dan teknologi sirkuit terpadu, meningkatnya kompleksitas perangkat dan struktur sirkuit telah meningkatkan persyaratan untuk diagnostik proses chip mikroelektronik, analisis kegagalan, dan fabrikasi mikro/nano.Sistem FIB-SEM Dual Beam, dengan kemampuan permesinan presisi dan analisis mikroskopisnya yang canggih, telah menjadi sangat diperlukan dalam desain dan manufaktur mikroelektronik.
Sistem FIB-SEM Dual Beammengintegrasikan Focused Ion Beam (FIB) dan Scanning Electron Microscope (SEM). Alat ini memungkinkan pengamatan SEM secara real-time terhadap proses pemesinan mikro berbasis FIB, menggabungkan resolusi spasial tinggi dari berkas elektron dengan kemampuan pemrosesan material presisi dari berkas ion.
Lokasi-Persiapan Penampang Spesifik
TPencitraan dan Analisis Sampel EM
SPemeriksaan Etching elektif atau Pemeriksaan Etching yang Ditingkatkan
MPengujian Deposisi Lapisan Isolasi dan Etal